一种月尘测量仪粘性石英晶体探头涂膜方法

摘要

本发明公开了一种月尘测量仪粘性石英晶体(SQCM)探头涂膜方法。使用本发明能够在石英晶体上涂覆真空油脂，且涂膜后形成的粘性石英晶体能够用于月尘测量。本发明首先采用石油醚对石英晶体进行清洗，并挑选频率在9990000Hz～9995000Hz内的石英晶体进行涂膜；采用Apiezion H脂作为粘性石英晶体的覆膜进行涂膜，并在涂膜过程中监测石英晶体的频率，当涂抹前后的石英晶体的频差为2MHz左右，涂膜完成，检测石英晶体的Q值、谐振阻抗和动态电容，若满足技术指标，则该石英晶体可以用于粘性石英晶体探头上。

主权项

一种月尘测量仪粘性石英晶体探头涂膜方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，将石英晶体固定在夹具上，采用石油醚对石英晶体进行清洗；步骤2，对石英晶体进行空载测试：用石英晶体网络分析仪测试石英晶体并联谐振频率；若测试频率不在9990000Hz～9995000Hz范围内，重复步骤1，三次清洗后频率达不到要求，更换石英晶体；测试频率处于9990000Hz～9995000Hz范围内，记录频率值，记为涂膜前石英晶体频率；步骤3，涂膜；步骤3.1，用棉签粘Apiezion H脂后在干净玻璃片上试涂敷，在棉签端部形成一小平面；步骤3.2，采用步骤3.1的试涂敷棉签，在石英晶体上均匀涂沫，所涂膜须覆盖上电极表面；涂敷过程中用网络分析仪监测石英晶体频率，如果涂膜前、后石英晶体的频差大于20500Hz，则用一个干净棉签粘比上次量少的Apiezion H脂重复3.1和3.2；如果涂膜前、后石英晶体的频差小于19500Hz，则用一个干净棉签粘比上次量多的Apiezion H脂重复3.1和3.2；直到涂膜前、后石英晶体的频差在(20000±500)Hz范围内时，停止涂敷，记录频率值，记为涂膜后石英晶体频率；步骤3.3，在自然光下，肉眼观察，要求膜层表面无杂质、污渍，所涂膜覆盖上电极表面；步骤4，进行膜性能检测：用石英晶体网络分析仪测试石英晶体Q值、谐振阻抗和动态电容，并判断石英晶体是否满足如下技术指标：涂膜后石英晶体Q值大于1000；涂膜后石英晶体谐振阻抗小于300Ω；涂膜后石英晶体动态电容：大于40fF，如满足，则涂膜后石英晶体能用于月尘测量仪，否则，重复步骤1。