直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台

摘要

本发明提出直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台，包括基座、直线导轨、滑块、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台，所述宏微一体化平台的外框架安装在直线导轨滑块上，基座上装有U型直线电机定子，宏动平台和微动平台上分别装有动子，当宏微动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可以实现一维高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用。

主权项

直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台，其特征在于：包括基座、宏动外框架和微动平台；所述宏动外框架与所述微动平台形成一体化平台，所述微动平台设置在所述宏动外框架的框架内部，所述微动平台包括用于放置工件的核心平台和用于限位的弹片组，所述核心平台通过所述弹片组连接于所述宏动外框架；所述基座上设置有导轨、滑块和U型直线电机，所述滑块可滑动于所述导轨，所述U型直线电机包括定子、宏动外框架动子、微动平台动子和连接件，宏运动和微运动共用同一个所述定子；所述宏动外框架固定安装于所述滑块，并通过所述连接件连接于所述宏动外框架动子，由所述宏动外框架动子、所述微动平台动子和所述定子控制其滑动于所述导轨实现宏运动；所述核心平台通过所述连接件固定于所述微动平台动子，并由所述微动平台动子控制其在所述定子的微运动。