发明名称 |
蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备,该喷淋处理设备包括支撑装置和喷淋装置,支撑装置用于支撑待处理的基材,且支撑装置的支撑平面相对水平面倾斜设置,以使得基材与水平面成预定角度倾斜;喷淋装置用于向倾斜设置的基材喷淋处理液。通过上述方式,本实用新型能够提升处理液处理基材的均匀性。 |
申请公布号 |
CN204230209U |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201420550326.7 |
申请日期 |
2014.09.23 |
申请人 |
安徽省大富光电科技有限公司 |
发明人 |
孙尚传 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 |
代理人 |
何青瓦 |
主权项 |
一种喷淋处理设备,其特征在于,所述喷淋处理设备包括:支撑装置,用于支撑待处理的基材,且所述支撑装置的支撑平面相对水平面倾斜设置,以使得所述基材与水平面成预定角度倾斜;喷淋装置,用于向倾斜设置的所述基材喷淋处理液。 |
地址 |
233000 安徽省蚌埠市高新区东海大道6525号 |