发明名称 Vacuum pump
摘要 <p>Eine Vakuumpumpe weist eine Molekularstufe (12), eine Gasreibungsstufe (16) und eine regenerative Pumpstufe (18) auf. Ein insbesondere kreisringförmig ausgebildetes Reibungsstufen-Förderelement (32) der Gasreibungsstufe (16) ragt in die regenerative Pumpstufe (18) zur Ausbildung eines Regenerativ-Förderelements (36). </p>
申请公布号 EP2813710(A3) 申请公布日期 2015.03.25
申请号 EP20140172006 申请日期 2014.06.11
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 DR. BEYER, CHRISTIAN
分类号 F04D19/04;F04D23/00 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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