一种用于压力传感器的压电薄膜结构

摘要

本发明提供一种用于压力传感器的压电薄膜结构，包括外保护层、内保护层、PZT层和基载层。本发明提供的压电薄膜结构以硅胶和聚乙烯复合物分别作为内、外保护层，能够有效缓解PZT层磨损、延长薄膜使用寿命，同时上述材质的保护层不影响薄膜对压力的灵敏感知以及电信号传输。此外，该技术具有结构简单、成本较低、应用前景广泛的优点。

主权项

一种用于压力传感器的压电薄膜结构，包括PZT层（3）和基载层（4），其特征在于还包括外保护层（1）和内保护层（2），其中PZT层（3）外覆于基载层表面并与基载层（4）紧密贴合，内保护层（2）外覆于PZT层（3）另一面并与PZT层（3）紧密贴合，外保护层（1）外覆于内保护层（2）另一面并与内保护层（2）紧密贴合。