非晶硅薄膜太阳电池的制备方法及非晶硅薄膜太阳电池

摘要

本发明公开了一种非晶硅薄膜太阳电池的制备方法，所述制备方法包括：提供一衬底，在所述衬底上形成前电极，所述前电极为掺杂氧化锌透明前电极；在所述前电极上形成接触层，所述接触层的形成材料为锗化物；在所述接触层上形成PIN结层；在所述PIN结层上形成背电极。相应的，本发明还提供了一种非晶硅薄膜太阳电池。本发明提供的制备方法在前电极和PIN结层之间插入一层厚度较薄的锗化物，可有效防止氧和锌进入非晶硅薄膜电池中，从而改善非晶硅薄膜的质量，提高电池的光电转换效率。

主权项

一种非晶硅薄膜太阳电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括步骤：a)提供一衬底，在所述衬底上形成前电极，所述前电极为掺杂氧化锌透明前电极；b)在所述前电极上形成接触层，所述接触层的形成材料为锗化物；c)在所述接触层上形成PIN结层；d)在所述PIN结层上形成背电极。