发明名称 提高氮化硼喷嘴寿命的方法
摘要 本发明公开了一种提高氮化硼喷嘴寿命的方法,通过在BN喷嘴内部沉积Al涂层,然后在氮气气氛中高温处理,最终在喷嘴内部形成一层致密,具有一定厚度的AlN涂层。在氮气条件下,涂层成分以AlN为主,因此可以在喷嘴内部形成一层致密,具有一定厚度的AlN涂层。AlN莫氏硬度7,熔点2200℃以上,热膨胀系数3.5-4×10<sup>-6</sup>/℃可稳定使用在1370℃,耐冲蚀性能远高于BN。同时其表面形成的氧化铝可以保护氮化硼喷嘴免于氧化,两种因素同时保证喷嘴寿命大幅提高。
申请公布号 CN104451533A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201410833443.9 申请日期 2014.12.24
申请人 江苏锴博材料科技有限公司 发明人 李倍;过凤萍
分类号 C23C8/24(2006.01)I 主分类号 C23C8/24(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 提高氮化硼喷嘴寿命的方法,其特征在于,通过在BN喷嘴内部沉积Al涂层,然后在氮气气氛中高温处理,发生以下反应:3Al+2BN=2AlN+AlB<sub>2</sub>;3Al+N<sub>2</sub>=2AlN;最终在喷嘴内部形成一层致密,具有一定厚度的AlN涂层。
地址 215500 江苏省苏州市常熟市东南开发区新安江路62号
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