发明名称 |
电阻式存储器及处理电阻式存储器的方法 |
摘要 |
本文中描述电阻式存储器及处理电阻式存储器的方法。处理电阻式存储器的一个或一个以上方法实施例包含:在层间电介质中的开口中保形地形成单元材料,使得在所述单元材料中形成接缝;通过对所述接缝进行改性来形成导电通路;及在所述单元材料及所述接缝上形成电极。 |
申请公布号 |
CN102754207B |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201180008673.6 |
申请日期 |
2011.01.27 |
申请人 |
美光科技公司 |
发明人 |
古尔特杰·S·桑胡;约翰·A·斯迈思三世 |
分类号 |
H01L27/105(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/105(2006.01)I |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 |
代理人 |
宋献涛 |
主权项 |
一种处理电阻式存储器单元(212)的方法,其包括:在层间电介质(104)中的开口(106)中保形地形成单元材料(108),使得在所述单元材料(108)中形成接缝(110、110‑1、110‑2);通过对所述接缝(110、110‑1、110‑2)进行改性来形成导电通路,其中对所述接缝(110、110‑1、110‑2)进行改性包含在所述接缝(110、110‑1、110‑2)中形成细丝(114);在所述接缝(110、110‑1、110‑2)中形成所述细丝(114)之后,加热所述细丝(114);及在所述单元材料(108)及所述接缝上(110、110‑1、110‑2)形成电极(116)。 |
地址 |
美国爱达荷州 |