发明名称 电阻式存储器及处理电阻式存储器的方法
摘要 本文中描述电阻式存储器及处理电阻式存储器的方法。处理电阻式存储器的一个或一个以上方法实施例包含:在层间电介质中的开口中保形地形成单元材料,使得在所述单元材料中形成接缝;通过对所述接缝进行改性来形成导电通路;及在所述单元材料及所述接缝上形成电极。
申请公布号 CN102754207B 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201180008673.6 申请日期 2011.01.27
申请人 美光科技公司 发明人 古尔特杰·S·桑胡;约翰·A·斯迈思三世
分类号 H01L27/105(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I 主分类号 H01L27/105(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 宋献涛
主权项 一种处理电阻式存储器单元(212)的方法,其包括:在层间电介质(104)中的开口(106)中保形地形成单元材料(108),使得在所述单元材料(108)中形成接缝(110、110‑1、110‑2);通过对所述接缝(110、110‑1、110‑2)进行改性来形成导电通路,其中对所述接缝(110、110‑1、110‑2)进行改性包含在所述接缝(110、110‑1、110‑2)中形成细丝(114);在所述接缝(110、110‑1、110‑2)中形成所述细丝(114)之后,加热所述细丝(114);及在所述单元材料(108)及所述接缝上(110、110‑1、110‑2)形成电极(116)。
地址 美国爱达荷州