| 发明名称 | 一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法，包括：一个放大器(G)，3个电阻(A、B、C)，3个开关(D、E、F)。换档有3个量程，分别为100mA、10mA、1mA，通过比较得到的束流值，用这3个档位，从模拟量到数字量，在数字量到确定的档位，得到最适合的档位。通过法拉第杯的自动换档，开始时用最大档位，在比较实际束流值与档位之间的相差值，得到最适合的档位，用这3个量程的使得到的束流值更加准确。 | ||
| 申请公布号 | CN104465288A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201310415466.3 | 申请日期 | 2013.09.12 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 万伟 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/317(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法，其特征在于：通过法拉第杯的自动换档，增加束流值的精度值。 | ||
| 地址 | 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||