发明名称 光学位置测量装置
摘要 本发明涉及用于探测整体量具和至少一个可沿着至少一个测量方向彼此相对运动的探头的相对位置的光学位置测量装置。所述光学扫描装置是这样地设计,使得扫描装置的有效测量点位于在背向探头定向的方向上与整体量具隔开定义的距离上。
申请公布号 CN104457571A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201410719523.1 申请日期 2014.09.11
申请人 约翰内斯·海德汉博士有限公司 发明人 W·霍尔茨阿普费尔
分类号 G01B11/00(2006.01)I 主分类号 G01B11/00(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 徐予红;刘春元
主权项 用于探测整体量具和至少一个可沿着至少一个测量方向彼此相对运动的探头的相对位置的光学位置测量装置,其中光学扫描装置这样地设计,使得扫描装置的有效测量点位于在背向探头定向的方向上与整体量具隔开定义的距离上。
地址 德国特劳恩罗伊特