激光加工系统及激光加工方法

摘要

本发明公开了一种激光加工系统，其包括激光器、分光镜、第一反射镜组件、第二反射镜组件、第一聚焦镜、第二聚焦镜、第一位移调整机构，第二位移调整机构和加工平台，激光器发射出的单束激光光束入射到分光镜中，分光镜输出第一激光光束和第二激光光束，第一激光光束、第二激光光束分别经第一反射镜组件、第二反射镜组件入射到第一聚焦镜、第二聚焦镜中，第一位移调整机构、第二位移调整机构分别控制第一聚光镜、第二聚光镜的移动，以用于调整第一激光光束、第二激光光束并行聚焦于加工平台上的两点之间的距离。本发明还公开了激光加工方法。本发明通过分光加快了加工效率，同时，通过位移调整机构提高了产品的精确度。

主权项

一种激光加工系统，其特征在于，所述激光加工系统包括激光器、分光镜、第一反射镜组件、第二反射镜组件、第一聚焦镜、第二聚焦镜、第一位移调整机构，第二位移调整机构和加工平台，所述分光镜邻近所述激光器的输出端设置，所述第一聚焦镜和所述第二聚焦镜均正对于加工平台，所述第一聚焦镜、所述第二聚焦镜分别设置于所述第一位移调整机构、所述第二位移调整机构上；所述激光器发射出的单束激光光束入射到所述分光镜中，所述分光镜输出第一激光光束和第二激光光束，所述第一激光光束经第一反射镜组件入射到第一聚焦镜中，所述第二激光光束经第二反射镜组件入射到第二聚焦镜中，第一位移调整机构、所述第二位移调整机构分别控制所述第一聚光镜、所述第二聚光镜的移动，以用于调整所述第一激光光束、所述第二激光光束并行聚焦于所述加工平台上的两点之间的距离。