| 发明名称 | 基板搬运机械手和真空反应腔以及基板处理系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种基板搬运机械手和真空反应腔以及包含上述基板搬运机械手的基板处理系统。所述基板搬运机械手，用于向真空反应腔传输面积大于0.8m<sup>2</sup>的基板，所述基板搬运机械手包括承载臂，所述承载臂前端的下表面处设置有滚动导引装置。所述滚动导引装置可以引导所述搬运机械手向真空反应腔内移动，有效的避免了基板前端与反应腔底板的擦碰。 | ||
| 申请公布号 | CN204223812U | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201420667035.6 | 申请日期 | 2014.11.10 |
| 申请人 | 上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想能源设备（上海）有限公司 | 发明人 | 杨飞云;胡宏逵 |
| 分类号 | B65G47/90(2006.01)I | 主分类号 | B65G47/90(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人 | 黄海霞 |
| 主权项 | 一种基板搬运机械手，用于向真空反应腔传输面积大于0.8m<sup>2</sup>的基板，所述基板搬运机械手包括承载臂，其特征在于，所述承载臂前端的下表面处设置有滚动导引装置，所述滚动导引装置用于将所述基板搬运机械手向真空反应腔内导引。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区居里路1号 | ||