一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法，包括如下步骤：步骤一、精馏装置尾气回收：将尾气进行两级冷凝，分离出的冷凝液去精馏塔提纯生产；步骤二、尾气再回收：将步骤一中分离的气体与还原反应系统的尾气充分混同后进行混压缩；步骤三、氯化氢吸收：对步骤二中处理后的气体分离回收氯化氢；步骤四、氢气的纯化：经步骤三处理后的气体和尾气回收系统排放的富含非金属杂质的氢气同时提纯净化后进入还原反应系统参与反应。本发明所提供的多晶硅生产尾气再回收利用的方法将精馏与尾气回收系统紧密结合起来，使两大系统的生产尾气得到合理再回收。

主权项

一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置，其特征在于：包括精馏装置尾气回收系统、尾气压缩系统、氢气纯化回收系统，其中，所述精馏装置尾气回收系统包括尾气收集罐（1）、一级水冷器（2）、深冷器（3）、气液分离罐（4），其中，尾气收集罐（1）的进气口与各精馏装置尾气输出口相连，尾气收集罐（1）的出气口与一级水冷器（2）的进口相连，一级水冷器（2）的出口与深冷器（3）的进口相连，深冷器（3）的出口与气液分离罐（4）相连，回收的冷凝液从第一氯硅烷回收罐的出液口流出返回精馏塔；所述尾气压缩系统包括一级尾气缓冲罐（5）、尾气压缩装置（6）、气气换热器（7），其中，气气换热器（7）的冷侧进气口接收气液分离罐（4）中排出的气体，气气换热器（7）的冷侧出气口与一级尾气缓冲罐（5）进气口相连，一级尾气缓冲罐（5）进气口同时接收还原反应系统的尾气，气气换热器（7）的热侧进气口与尾气压缩装置（6）的出口相连，一级尾气缓冲罐（5）的尾气压缩装置（6）的进气口相连，一级尾气缓冲罐（5）的出口与尾气压缩装置（6）的进气口相连，气气换热器（7）的热侧出气口连接氢气纯化回收系统；所述氢气纯化回收系统包括二级尾气缓冲罐（8）、氢气缓冲罐（10）、第一氢气分离净化装置（9）、第二氢气净化装置（11），其中，二级尾气缓冲罐（8）的进气口与气气换热器（7）的热侧出气口相连，二级尾气缓冲罐（8）的出气口与第一氢气分离净化装置（9）的进气口相连，氢气缓冲罐（10）的进气口接收由第一氢气分离净化装置（9）的出气口排出的气体和尾气回收系统的氢气，氢气缓冲罐（10）的出气口与第二氢气净化装置（11）的进气口相连，第二氢气净化装置（11）的出气口与还原反应系统相连；所述一级水冷器（2）为冷冻水冷凝器；所述深冷器（3）为冷媒介质冷凝器。