| 发明名称 | 铬靶材的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种铬靶材的制造方法，包括：采用热压烧结工艺，在预设温度为1100～1300℃，预设压强大于30MPa的条件下，对铬粉末进行致密化处理，形成铬靶材坯料；之后冷却所述铬靶材坯料，形成铬靶材。采用上述技术方案，可形成致密度高达99.5%，平均晶粒度小于50μm，且结构均匀的铬靶材。而且相比于热等静压工艺，本发明降低了铬靶材制造工艺的工艺设备要求和工艺条件，节约了工艺成本。 | ||
| 申请公布号 | CN104439246A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201310418471.X | 申请日期 | 2013.09.13 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 发明人 | 姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 |
| 分类号 | B22F3/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | B22F3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种铬靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供铬粉末；采用热压烧结工艺，在预设温度为1100～1300℃，预设压强大于30MPa的条件下，对铬粉末进行致密化处理，形成铬靶材坯料；冷却所述铬靶材坯料，形成铬靶材。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 | ||