红外激光切割蓝宝石玻璃的加工装置及其方法

摘要

本发明涉及红外激光切割蓝宝石玻璃的加工装置及方法，包含沿光路依次布置的激光器、准直镜、光束角度调整模块和第一分光系统，激光器是1070±10nm光纤脉冲激光器，第一分光系统的输出端布置有第一聚焦镜和第二分光系统，第二分光系统的输出端布置有第二聚焦镜和反射镜，反射镜的输出端布置有第三聚焦镜，第一聚焦镜、第二聚焦镜和第三聚焦镜正对于用于放置蓝宝石玻璃的三维平台。采用经过优化的激光光束进行加工，通过分光提高激光功率的使用率，提升效率、降低成本，还可以降低其边缘崩边和热影响区域；具有光斑小、效率高和成本低等特点。

主权项

红外激光切割蓝宝石玻璃的加工装置，其特征在于：包含沿光路依次布置的激光器、准直镜、光束角度调整模块和第一分光系统，激光器是1070±10nm光纤脉冲激光器，第一分光系统的输出端布置有第一聚焦镜和第二分光系统，第二分光系统的输出端布置有第二聚焦镜和反射镜，反射镜的输出端布置有第三聚焦镜，所述第一聚焦镜、第二聚焦镜和第三聚焦镜正对于用于放置蓝宝石玻璃的三维平台。