| 发明名称 | 一种用于板式PECVD的石墨载板 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于板式PECVD的石墨载板，其上设有多格硅片承载区，每格硅片承载区为156mm×156mm的结构，每格硅片承载区的两个竖边上各设有2个钩针、两个横边上各设有2个档针，钩针、档针分别沿各边中点对称设置，每条边上的两个钩针/档针之间的距离为75～98mm。本发明提供的装置克服了现有技术的不足，通过重新设计钩针和档针的距离，在不改变机器的情况下，实现了多种规格硅片的承载。 | ||
| 申请公布号 | CN104465465A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201410797561.9 | 申请日期 | 2014.12.19 |
| 申请人 | 百力达太阳能股份有限公司 | 发明人 | 王利锋 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人 | 翁若莹 |
| 主权项 | 一种用于板式PECVD的石墨载板，其上设有多格硅片承载区，每格硅片承载区为156mm×156mm的正方形结构，每格硅片承载区的两个竖边上各设有2个钩针(1)、两个横边上各设有2个档针(2)，钩针(1)、档针(2)分别沿各边中点对称设置，其特征在于：每条边上的两个钩针(1)/档针(2)之间的距离为75～98mm。 | ||
| 地址 | 314512 浙江省嘉兴市桐乡市河山镇工业园 | ||