一种无尘车间内空气分析方法及系统

摘要

本发明提供一种无尘车间内空气分析方法及系统，在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理；本发明保证产线内空气中SO4情况被管理，以预防因其超管理线而导致的产品信赖性失效。

主权项

一种无尘车间内空气分析方法，所述无尘车间内设有过滤器，其特征在于，所述方法包括：在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；提供元素分析设备对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。