实时监测洁净度的洁净工作台

摘要

本发明实时监测洁净度的洁净工作台，包括：箱体，箱体为一侧开口结构，箱体内部形成工作区；检测结构，检测结构设置在箱体内、位于工作区上部；其中检测结构包括扫描探头以及设置在扫描探头内部的检测电路；其中检测电路包括：红外线发光二极管IRED；光电晶体管PD，光电晶体管PD与红外线发光二极管IRED的光轴相交，光电晶体管PD与功率放大电路连接。本发明利用均流板上放入可随机移动实时监测洁净度的设备，使得在工作台实际使用中，洁净度测试设备在均流板上随机扫描过滤器后端的洁净度，实现对洁净工作区域洁净度的监测，当洁净度超出正常值时实时输出信号，使设备能够及时的发出声光报警信号提示操作人员及时检查维护。

主权项

实时监测洁净度的洁净工作台，其特征在于，包括：箱体，所述箱体为一侧开口结构，所述箱体内部形成工作区；检测结构，所述检测结构设置在所述箱体内、位于所述工作区上部；其中所述检测结构包括扫描探头以及设置在所述扫描探头内部的检测电路；其中所述检测电路包括：红外线发光二极管IRED；光电晶体管PD，所述光电晶体管PD与所述红外线发光二极管IRED的光轴相交，所述光电晶体管PD与功率放大电路连接。