活性酸素量測定装置、活性酸素表面処理装置、活性酸素量測定方法および活性酸素表面処理方法

摘要

活性酸素による表面処理において、活性酸素表面作用量を正確に測定する。本発明の活性酸素量測定装置は、被処理対象物の近傍に配置される第１の振動子を有し、活性酸素作用量に基づく第１の振動子における質量変化を第１の周波数変化量として出力する第１のセンサ、被処理対象物の近傍に配置される第２の振動子を有し、温度、湿度又は圧力の変化に起因する外乱に基づく第２の振動子における質量変化を第２の周波数変化量として出力する第２のセンサ、及び第１の周波数変化量と第２の周波数変化量の差分を演算し、差分を実際の活性酸素作用量による周波数変化量として特定するように構成された測定部を備える。