| 摘要 |
<p>ＬｉＴａＯ３の厚み滑り振動モードを利用しており、高周波化が可能であるフィルタや共振子を、厚みの厚いＬｉＴａＯ３薄板を用いて形成することができる圧電バルク波振動装置を得る。ＬｉＴａＯ３からなる圧電薄板５と、圧電薄板５に接するように設けられた第１，第２の電極６，７とを備え、ＬｉＴａＯ３からなる圧電薄板５の厚み滑り振動モードのバルク波を利用しており、前記第１及び第２の電極６，７が、ＬｉＴａＯ３を伝搬する横波の固有音響インピーダンスよりも、固有音響インピーダンスが小さい導体からなり、前記第１，第２の電極６，７の厚みの合計である電極厚と、前記ＬｉＴａＯ３の厚みと前記電極厚との合計に対する比である、電極厚／（ＬＴ厚＋電極厚）が５％より大きく、７０％より小さい、圧電バルク波装置１。</p> |
