发明名称 |
溶融体の表面上で持続的な異方性結晶成長を実現する方法 |
摘要 |
溶融体から水平なリボンを成長させる方法が、溶融体の表面上における放射冷却を用いてリボンの先行エッジを形成するステップと、溶融体の表面に沿った第1方向にリボンを引き出すステップと、リボンの先行エッジに隣接した領域内で、溶融体から放射される熱を、溶融体を通ってリボンに流入する熱流量よりも大きい熱除去速度で除去するステップとを含む。 |
申请公布号 |
JP2015508745(A) |
申请公布日期 |
2015.03.23 |
申请号 |
JP20140557627 |
申请日期 |
2012.12.12 |
申请人 |
ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド |
发明人 |
ピーター エル ケラーマン;ダウェイ スン;ブライアン エイチ マッキントッシュ |
分类号 |
C30B29/06;C01B33/02;C30B15/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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