物体搬送装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体の搬送方法、及び物体交換方法

摘要

基板ステージ（２０）に基板（Ｐ）を搬送する基板搬入装置（８０）は、基板（Ｐ２）の一端部（＋Ｘ側の端部）近傍、及び他端部（−Ｘ側の端部）近傍をそれぞれ下方から吸着保持する複数のロードハンド（８４）と、基板（Ｐ２）の上側面に対向して配置され、複数のロードハンド（８４）に支持された基板（Ｐ２）に重力方向上向きの力を作用させる気体吸引装置（８６）と、複数のロードハンド（８４）と気体吸引装置（８６）とを駆動する駆動系と、を備える。これにより、基板を効率良く搬送することが可能になる。