| 摘要 |
<p>複数の圧電単結晶を積層してなる積層基板を用いた弾性波装置であって、圧電単結晶間の線膨張率差を小さくすることができ、かつ焦電性を低めることが可能な弾性波装置を提供する。ニオブ酸リチウムを主成分とする圧電基板２と、前記圧電基板２上に積層されており、タンタル酸リチウムを主成分とする圧電膜４と、前記圧電膜４の上面または下面に形成されたＩＤＴ電極５とを備え、前記ニオブ酸リチウムのオイラー角のψと、前記タンタル酸リチウムのオイラー角のψとの差の絶対値が５０?〜１３０?の範囲にある、弾性波装置１。</p> |
