| 摘要 |
この発明の微粒子センサ（２）は、被測定ガス中の微粒子量を検出するための微粒子センサであって、絶縁体（８）と絶縁体（８）の主面（８ａ）上に互いに間隔を空けて配置された一対の電極（１０、１２）と、を備える。絶縁体（８）は、一対の電極（１０、１２）が形成されていない部分に、主面（８ａ）に対し垂直な方向の高さが、一対の電極（１０、１２）の高さ以上である絶縁部（８ｂ）を有する。この微粒子センサの１の製造方法では、まず絶縁体（８）を構成する基板上に一対の電極（１０、１２）の構成材料からなる電極パターンを形成し、電極パターン上に電極パターンの焼結温度以下の温度で揮発する材料からなる、電極パターンと同一パターンのマスクを形成する。その上に絶縁部（８ｂ）の構成材料からなる薄膜を形成し、電極パターンと薄膜とを焼結させて、電極（１０、１２）と絶縁部（８ｂ）とを形成する。 |
