| 摘要 |
ＬｉＴａＯ３の厚み滑りモードを利用しており、しかも電極膜厚やＬｉＴａＯ３の厚みのばらつきによる電気的特性のばらつきが少ない、圧電バルク波装置及びその製造方法を提供する。ＬｉＴａＯ３からなる圧電薄板５と、圧電薄板５に接するように設けられた第１，第２の電極６，７とを備え、ＬｉＴａＯ３からなる圧電薄板５の厚み滑りモードを利用しており、第１，第２の電極６，７が、ＬｉＴａＯ３を伝搬する横波の固有音響インピーダンスよりも大きな固有音響インピーダンスを有する導体からなり、前記第１及び第２の電極６，７の膜厚の合計を電極厚、前記ＬｉＴａＯ３からなる圧電薄板５の厚みをＬＴ厚としたとき、電極厚／（電極厚＋ＬＴ厚）が４０％以上、９５％以下の範囲にある、圧電バルク波装置１。 |
