角速度センサ

摘要

Ｚ軸方向の軸周りに発生する検出感度精度を向上させ、尚且つＸ軸方向・Ｙ軸方向の軸周りに発生する検出感度精度を劣化させない振動型の角速度センサを提供する。重錘３は、円柱状または円錐状を有する。ダイアフラム１の外周部の輪郭形状は、四角形の四隅に直線部ＳＴを有する形状を有する。４つの振動励起用電極１１を、第１及び第２の仮想線Ｌ１及びＬ２によって仕切られた４つの領域内にそれぞれ形成する。４つの角速度検出用電極１３を、第１の仮想対角線ＣＬ１と第２の仮想対角線ＣＬ２によって仕切られた４つの領域にそれぞれ形成する。