离子枪及离子束之引出方法

主权项

一种离子枪，其系具备由阴极及阳极所构成的电浆产生手段、以及从电浆引出离子束的栅极者，该栅极系于长边方向具有复数或一连串的离子束引出孔，以该复数或一连串的离子束引出孔之中心部为原点，以该长边方向为x轴方向、以离子束射出方向为z轴正方向，进一步具备：第1磁铁，其系配置在该复数或一连串的离子束引出孔之周边，对该复数或一连串的离子束引出孔赋予z轴正方向之磁场；及第2磁铁，其系配置于该复数或一连串的离子束引出孔之长边方向端部，对该端部附近赋予x轴原点方向之磁场，提高该端部附近的电浆密度。