荷电粒子束描画装置及荷电粒子束描画方法

主权项

一种荷电粒子束描画装置，其特征为：具备：可以载置试料之工作台、及射出照射试料之荷电粒子束之照射部、及具有第1开口部，形成前述荷电粒子束之孔隙，及配置于前述工作台与前述孔隙之间的物镜、前述孔隙系具有第1构件与被贴合于前述第1构件的第2构件之层积构造，前述第2构件的前述第1开口部端部的位置，系对于前述第1构件的前述第1开口部端部的位置后退0.5um以上、5um以下；由前述第2构件的前述第1开口部端部突出的前述第1构件的前述第1开口部端部，实质上系具有一定之厚度。