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一种搬送机器人之控制方法，系为将应处理之基板从复数之处理室中的第1处理室而搬送至第2处理室中之搬送机器人的控制方法，其特征为：前述搬送机器人之控制方法，系包含有：为了从第1处理室取出第1基板，而使机器手缩起之动作；和以使机器手之前端指向第2处理室的方式，来使机器手旋转之动作；和为了将前述第1基板搬送至前述第2处理室中，而使机器手伸展之动作，将包含有此些之使机器手缩起之动作、旋转之动作以及伸展之动作的一连串之动作，藉由1个的指令来实行，前述搬送机器人之控制方法，系更进而包含有：藉由2个的机器手中之其中一方的机器手，而将存在于前述第1处理室中之前述第1基板取出之第1取出动作；和在前述第1取出动作后，藉由前述2个的机器手中之另外一方的机器手，来将与前述第1基板相异之第2基板取出之第2取出动作、以及递交至前述第1处理室之特定位置处之递交动作，前述一连串之动作，系更进而包含有前述第1以及第2取出动作和前述递交动作，并不等待前述一连串之动作的结束地，而在前述一连
串之动作中，产生用以将被配置有前述搬送机器人之搬送室和前述第1处理室之间作区隔的区隔阀关闭之讯号，此讯号系由前述搬送机器人所产生。
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