矽甲烷之纯化方法

主权项

一种矽甲烷之纯化方法，其方法为：矽甲烷气体由吸收塔内超纯水吸收气体内含之不纯物，并透过压缩机加压以蒸馏方式移除矽甲烷液体内之气态不纯物，然后以蒸馏塔低温分馏矽甲烷液体内之液态不纯物，再通过极低温蒸馏分离矽甲烷液体内微量之气态不纯物，其极低温蒸馏的温度在于-140℃至-200℃之间。