薄膜电晶体

主权项

一种薄膜电晶体，包括：一基板；一闸极，设置于该基板上；一闸极绝缘层，覆盖该闸极及该基板；一主动层，设置于该闸极绝缘层上，并位于该闸极上方；一源极，设置于该主动层上；一汲极，设置于该主动层上，并与该源极相对设置；其中，该闸极绝缘层包括设置于闸极及该基板上的第一闸极绝缘层、在该第一闸极绝缘层之上的第二闸极绝缘层、在该第一闸极绝缘层和该第二闸极绝缘层之间之第三闸极绝缘层，且该第一闸极绝缘层的膜质比该第二闸极绝缘层的膜质致密，该第三闸极绝缘层的膜质要比该第二闸极绝缘层的膜质疏松。