薄型叠层式功率电感制程之改进

主权项

一种薄型叠层式功率电感制程之改进，其制程步骤包括：基板处理步骤：对基板表面进行处理，使去除杂质和油脂；种子层形成步骤：利用溅镀制程或蒸镀制程，于基板表面形成金属种子层；线圈图案形成步骤：在基板上方形成一层感光型高分子层，再利用一图案化金属层光罩对感光型高分子层曝光、显影，使感光型高分子层形成线圈型沟槽；接着蚀刻、去光阻，而在基板表面形成螺旋线圈图案金属层；挡墙形成步骤：在基板上方再涂上一层感光型高分子层，使感光型高分子层覆盖螺旋线圈图案金属层；再以图案化金属层光罩对感光型高分子层曝光、显影，使感光型高分子层在螺旋线圈图案金属层上方的两侧形成挡墙；电镀铜步骤：在挡墙围出的空间内，于螺旋线圈图案金属层的上方，利用电镀形成使螺旋线圈图案金属层增厚之电镀层；重复上述挡墙形成步骤和电镀步骤，使螺旋线圈图案金属层逐层镀到设计所需厚度，以制出高深宽比的螺旋状金属线圈。