应用于半导体制程的氨废水处理系统

主权项

一种应用于半导体制程的氨废水处理系统，其包括：一半导体制程装置，产生高浓度氨气；一淡化装置，接收该高浓度氨气后进行一淡化处理，并产生氨水溶液；以及一电解装置，接收该氨水溶液，并进行一电解处理以使氨水溶液中的氨分解为氮气与氢气，以产生含氨量低于75ppm的排出水溶液。