碳化矽长晶设备

主权项

一种碳化矽长晶设备，其包含：一支撑座，系一侧面接合一连杆，该连杆接合一旋转装置，该支撑座另一侧面设置一坩埚，该坩埚之开口上方接合一导向部，且该导向部另一侧开口处接合一晶种治具，且该支撑座、该坩埚、该导向部与该晶种治具之外围设置一隔热层，该隔热层外设置有一腔体，该腔体外围活动设置有一高周波线圈，且该高周波线圈接合一连动件，而该连动件连接一驱动装置。