金属氧化物薄膜

主权项

一种金属氧化物薄膜，包含：铟、锌、锡及氧，其中，基于铟、锌及锡的原子总含量100at.%计，铟的原子含量范围为60至80at.%，锌的原子含量范围为10至25at.%，锡的原子含量范围为1至20at.%，且锌的原子含量与锡的原子含量间的比值大于1.1；其中，该金属氧化物薄膜成非晶态，且其结晶温度大于250℃。