灰阶遮罩毛胚、灰阶遮罩、灰阶遮罩毛胚之制造方法、灰阶遮罩之制造方法及液晶显示装置之制造方法

主权项

一种灰阶遮罩毛胚，系液晶显示装置制造用者，其特征为，由透光性基板、在上述透光性基板上形成之半透光膜、及在上述半透光膜上形成之遮光膜所构成，上述半透光膜系含有选自钼、钨、钽、钛、镍、铝之至少一种金属与矽的材料，上述半透光膜所含之上述金属与上述矽之比率(金属：矽)为1：2~1：19，上述半透光膜系调整成对曝光波长(g线(波长436nm)、h线(波长405nm)、i线(波长365nm))的穿透率为10%~80%，上述半透光膜与上述遮光膜之膜厚总计系设定成为光学浓度在3以上。