| 主权项 |
一种真空循环精炼太阳能级多晶矽设备，系包括：一真空脱气炉，包含：一真空室，包括一第一抽真空嘴与一结合孔；一盛矽桶，设置于该真空室内，并对应位于该结合孔的下方，用以盛装液态矽溶液或是固态矽；一电浆枪，用来去除杂质；及，一惰性气体导入装置，设置于该盛矽桶；以及，一循环法真空处理炉，包含一第二抽真空嘴、一单嘴连通管，以及一即时检测设备，其中，该单嘴连通管经该结合孔插入该盛矽桶，并使该结合孔与该循环法真空处理炉接合处密封，又，使该惰性气体导入装置所导入之惰性气体往该单嘴连通管移动，且该即时检测设备用来检测该杂质之浓度；其中，经由该第一抽真空嘴与该第二抽真空嘴分别对该真空脱气炉与该循环法真空处理炉进行抽真空处理，并利用调整该真空脱气炉与该循环法真空处理炉的真空度来控制液态矽溶液在该循环法真空处理炉内的高度。
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