薄膜太阳能电池之雷射切割装置及其测量方法

主权项

一种薄膜太阳能电池之雷射切割装置，其系适用于大面积薄膜太阳能电池面板，该薄膜太阳能电池之雷射切割装置包括：　　一基座，该基座上端面设有一凹槽，该凹槽上设置一工作台，该基座上端面二侧边接设有一定位导向柱；　　至少一雷射头，该雷射头系设置于该定位导向柱前端面，用以将雷射光束射出至薄膜太阳能电池面板上的特定位置处，以进行切割；以及　　至少一探针扫描器，其系设置于该定位导向柱前端面，位于该雷射头之一侧边，于雷射制程后用作深度剖面量测。