光阻底层膜形成组成物用添加剂及含其之光阻底层膜形成用组成物

主权项

一种光阻底层膜形成组成物用添加剂，其特征为含有至少具有下述式(1)所表示之构造单位V及W，前述式(1)中之前述构造单位V为以下述式(2)所表示者，式(1)：
(式中，L表示构成聚合物之主链之一部份的键结基；M表示含有-C(=O)-及-O-的连结基；Q表示氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、三氟乙基及三氟丙基，R1为乙醯基、烷氧基烷基或3级烷基)；式(2)：(式中，R2表示氢原子或甲基，M及Q系与式(1)中之定义同义)。