主权项 |
一种薄膜太阳能电池之制造方法,系包含以下步骤:顺次沉积一前电极层及一半导体层于一基板之上;透过去除该前电极层及该半导体层之预设部份形成一第一隔离通道;透过去除该半导体层之预设部份形成一接触部份及一第二隔离通道,其中透过该接触部份及该第二隔离通道暴露该前电极层,其中透过具有相同波长范围的雷射之一雷射图案化制程同时形成该接触部份与该第二隔离通道;形成一第一绝缘层于该第一隔离通道中;以及形成复数个后电极,其中该等后电极透过其间的每一第二隔离通道以固定之间隔形成,并且每一该等后电极通过该接触部份与该前电极层电连接,其中该等后电极形成于该接触部份中,藉以使该等后电极与所暴露之该前电极层相接触。
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