发明名称 感光性树脂组成物
摘要
申请公布号 TWI477904 申请公布日期 2015.03.21
申请号 TW100107740 申请日期 2011.03.08
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 武部和男;井上胜治;松浦龙一
分类号 G03F7/031;H01L21/027;G02B5/20 主分类号 G03F7/031
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种感光性树脂组成物,其系含有:硷可溶性树脂、(甲基)丙烯酸酯化合物、光聚合起始剂、含有噻吨酮化合物之光聚合起始助剂及溶剂的感光性树脂组成物,其中光聚合起始剂为含有α-胺基酮化合物、联二咪唑化合物及肟化合物的光聚合起始剂,硷可溶性树脂之含量系相对于该硷可溶性树脂及(甲基)丙烯酸酯化合物之合计量,为5~95%,α-胺基酮化合物、联二咪唑化合物、肟化合物及噻吨酮化合物之合计量系相对于硷可溶性树脂及(甲基)丙烯酸酯化合物之合计量,为1~30%,噻吨酮化合物之含量系相对于α-胺基酮化合物之含量100质量份,为80质量份以上160质量份以下,溶剂的含量系相对于感光性树脂组成物,为60~95%。
地址 日本