发明名称 银镁铝金属玻璃镀层及其制备方法
摘要
申请公布号 TWI477618 申请公布日期 2015.03.21
申请号 TW101126292 申请日期 2012.07.20
申请人 国立中山大学 发明人 黄志青;胡婷婷;聂台冈;徐瑞鸿;官圣尧;李敬仁
分类号 C23C14/10;C23C14/35 主分类号 C23C14/10
代理机构 代理人 刘育志 台北市大安区敦化南路2段77号19楼
主权项 一种银镁铝金属玻璃镀层,其由磁控共溅镀装置依照特定原子比例同时沉积银、镁及铝金属所制备而成,其中该特定原子比例为银的原子百分比为30~45%,镁的原子百分比为37~45%,及铝的原子百分比为18~25%;所述磁控共溅镀装置包含两直流溅镀枪及一射频溅镀枪,其中所述两直流溅镀枪内分别放置银靶材与铝靶材,分别用于银与铝的沉积操作;所述射频溅镀枪内放置镁靶材,系用于镁的沉积操作。
地址 高雄市鼓山区莲海路70号