| 主权项 |
一种投影微影物镜，把遮罩的图像聚焦成像在矽晶圆上，从遮罩开始沿光轴依序包括：具有正光焦度的第一透镜组G31；具有正光焦度的第二透镜组G32；具有正光焦度的第三透镜组G33；以及具有正光焦度的第四透镜组G34；其中，上述各透镜组满足以下关系：1.8<|fG32/fG31|<5.4 0.57<|fG33/fG34|<0.97 0.19<|fG33/fG32|<0.5其中，fG31：上述第一透镜组G31的焦距；fG32：上述第二透镜组G32的焦距；fG33：上述第三透镜组G33的焦距；以及fG34：上述第四透镜组G34的焦距；上述第一透镜组G31由至少四片透镜所构成；上述第二透镜组G32由至少六片透镜所构成，上述第二透镜组G32至少包含两对相邻的正负透镜组合；上述第三透镜组G33由至少四片透镜所构成，上述第三透镜组G33包含子透镜组G33-1n，该子透镜组G33-1n之光焦度为正值，其包含上述第三透镜组G33中至少两个位置
相邻且光焦度为正值的透镜；上述第四透镜组G34由至少六片透镜所构成，上述第四透镜组G34包含子透镜组G34-1n，该子透镜组G34-1n之光焦度为正值，其包含上述第四透镜组G34中至少三个位置相邻且光焦度为正值的透镜；上述各透镜组与子透镜组之间满足以下关系式：1.03<|fel_max/fG31|<1.95 0.34<|fG33-1n/fG33|<0.87 0.21<|fG34-1n/fG34|<0.47其中，fel_max：第一透镜组G31内光焦度最大的透镜的焦距；fG33-1n：第三透镜组G33的子透镜组G33-1n的焦距；fG34-1n：第四透镜组G34的子透镜组G34-1n的焦距。 |
