发明名称 |
感测系统、感测装置及其制造方法 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI477435 |
申请公布日期 |
2015.03.21 |
申请号 |
TW100137642 |
申请日期 |
2011.10.18 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
锺添淦;戴文川;黄耀德;黄信锭;蔡尚颖;杨长沂;洪嘉明 |
分类号 |
B81B7/02;B81C1/00;H01L27/146 |
主分类号 |
B81B7/02 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
一种感测装置,包括:一基材;一连接至该基材之感测元件,包含一板材,且该板材相对于该基材为可移动的;以及一能量撷取装置,形成于该感测元件之该板材上,其中该能量撷取装置包含一线圈形成于该板材上,该线圈被一设置于该能量撷取装置附近之一永久磁铁所形成之磁场穿越。
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |