发明名称 搬送装置、位置指示方法及感测器治具
摘要
申请公布号 TWI477372 申请公布日期 2015.03.21
申请号 TW098117471 申请日期 2009.05.26
申请人 乐华股份有限公司 发明人 广田健二
分类号 B25J9/22;H01L21/68 主分类号 B25J9/22
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种搬送装置,系藉由设置于移动臂的前端之搬送部来保持被搬送物而搬送于预先被设定的搬送轨迹上之可铅直方向的上下移动、及对铅直方向而言直角的平面上的直线移动及回旋移动可能的搬送装置,其特征为:将铅直方向设为Z方向,将位于前述平面上之设计上的直线移动方向设为Y方向,将对Y方向及Z方向而言直角的方向设为X方向时,具备:透过光式感测器,其系至少持有1个从投光部往受光部的光轴,在持有复数个前述光轴时,以前述光轴不会在由X方向、Y方向及Z方向的3方向之中的所望的2方向所构成的投影面上分别平行,且复数的前述光轴之中的至少1个前述光轴不会平行于前述所望的2方向之方式配置前述投光部与前述受光部;1个以上的目标构件,其系可将前述光轴遮光;指示资讯算出手段,其系从前述透过光式感测器取得前述目标构件使前述光轴自投光状态遮光时或自遮光状态投光时的位置资讯,根据前述位置资讯来算出有关前述搬送轨迹上的预定的目标位置的指示资讯;及控制手段,其系根据有关藉由前述指示资讯算出手段所算出的前述目标位置之前述指示资讯来控制前述被搬送物的搬送位置,又,前述透过光式感测器系设置于前述搬送部的前端部或前述目标位置的近旁部的任一一方,在未设置前述透 过光式感测器的前述搬送部的前端部或前述目标位置的近旁部设置前述目标构件;藉着对前述目标构件使前述光轴往前述所望的2方向之任一方向依序移动取得前述为置资讯;在将前述搬送部的直进方向设为R方向时,前述指示资讯算出手段系具备:Z轴补正资讯算出手段,其系根据往Z方向使前述光轴对1个的前述目标构件相对性地移动,而藉由该目标构件来遮住1个的该光轴时的前述位置资讯,来算出进行有关前述目标位置的Z方向的位置补正之前述指示资讯;θ轴补正资讯算出部,其系根据:至藉由1个的前述目标构件来遮住1个的前述光轴为止,使相对地平行移动时的前述位置资讯、及至该光轴再度投光为止,往X方向使该光轴对该目标构件相对地平行移动时的前述位置资讯,来算出补正R方向与Y方向的偏差角度之前述指示资讯;X轴补正资讯算出手段,其系具有2个前述光轴时,往R方向使前述光轴对1个的前述目标构件相对地平行移动,而根据2个的前述光轴分别遮光时的各前述位置资讯,来算出有关前述目标位置的X方向的位置补正之前述指示资讯;及Y轴补正资讯算出部,其系在具有交叉的2个前述光轴时,使该2个光轴对1个的前述目标构件往R方向相对地平行移动,而根据分别的前述光轴遮光时的各前述位置 资讯,或者,在不具有交叉的2个前述光轴时,根据至少1个的前述光轴遮光时的前述位置资讯,来算出有关前述目标位置的R方向的前述指示资讯。
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