| 发明名称 | 一种多功能微机电系统元件暨多功能微机电系统与金氧半导体的整合制造方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI477434 | 申请公布日期 | 2015.03.21 |
| 申请号 | TW098113938 | 申请日期 | 2009.04.27 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 施惠绅 |
| 分类号 | B81B7/00;H01L21/70 | 主分类号 | B81B7/00 |
| 代理机构 | 代理人 | 戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3;吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3 | |
| 主权项 | 一种多功能微机电系统元件，包含：一第一悬臂；一第二悬臂；以及一微机电组件，与该第一悬臂以及该第二悬臂一起形成一微机电结构，其中该微机电组件包含一电感装置，该第一悬臂电连接该电感装置，该第二悬臂电连接该电感装置。 | ||
| 地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 | ||