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经营范围
发明名称
锌减量之喷头
摘要
申请公布号
TWM497672
申请公布日期
2015.03.21
申请号
TW103209914
申请日期
2014.06.05
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
南比亚 尼锡;天田欣也
分类号
C23C16/20
主分类号
C23C16/20
代理机构
代理人
祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼
主权项
一种用于处理基板之扩散器，包括：一本体，包括一铝合金，其中该铝合金包括小于或等于0.01重量百分比之锌。
地址
美国
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