太阳能电池的形成装置与形成方法

主权项

一种太阳能电池的形成装置，包括：一外壳，以定义一真空腔室；一可转式基板装置，以固定多个基板于多个表面上，其中每一表面系面对该真空腔室之一内表面；一第一溅镀源，以沉积多个第一型的吸光层原子于每一该些基板的至少部份表面上；一蒸镀源，位于该真空腔室之一第一子腔室中，以沉积多个第二型的吸光层原子于每一该些基板的至少部份表面上；以及一第一隔离源，以隔离该蒸镀源与该第一溅镀源。