发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UN FILTRE OPTIQUE AU SEIN D'UN CIRCUIT INTEGRE, ET CIRCUIT INTEGRE CORRESPONDANT
摘要 <p>Procédé de réalisation d'un filtre optique au sein d'un circuit intégré comportant un substrat et une partie d'interconnexion (ITC) au dessus du substrat, et circuit intégré correspondant. La réalisation du filtre comprend une formation au-dessus d'une zone photosensible (ZP) située dans le substrat d'au moins une couche de filtre (CF), le produit entre l'épaisseur de la couche de filtre et la partie imaginaire de l'indice de réfraction de la couche de filtre étant supérieur à 1, ladite au moins une couche de filtre étant située entre le substrat et la partie d'interconnexion (ITC).</p>
申请公布号 FR3010829(A1) 申请公布日期 2015.03.20
申请号 FR20130059026 申请日期 2013.09.19
申请人 STMICROELECTRONICS SA;STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 MARTY MICHEL;JOUAN SEBASTIEN;FREY LAURENT
分类号 H01L21/70;G02B5/20;H01L23/552 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
主权项
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