摘要 |
電歪材料からなるフィルムを用いる場合であっても、内部電極と電気的に接続された外部電極を確実に形成することができるアクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法を提供する。電歪材料からなり、片面又は両面に内部電極41、42が形成されている複数の電歪フィルム31を積層したアクチュエータ素子10である。内部電極41、42から電歪フィルム31の外側に向かって引き出された引き出し電極43、44が形成されており、引き出し電極43、44に少なくとも一の切り込み部12が設けられており、切り込み部12に導電性インク13が付与されている。導電性インク13は、切り込み部12から電歪フィルム31に形成されている引き出し電極43、44まで到達し、導電性インク13を加熱硬化させることにより内部電極と電気的に接続された外部電極を確実に形成する。 |